一、當蒸發(fā)室真空度達到所需要求工作真空度時，可進行電阻蒸發(fā)。操作過程如下：

a.選擇好阻蒸，手動操作擋板機構，使擋板置于蒸發(fā)源上方，緩緩調節(jié)坩堝溫度升溫待蒸發(fā)材料預熔除氣完畢后，打開擋板開始蒸發(fā)（使用設備底部磁力驅動把手打開坩堝口）。

b.通過上下鍵設定目標溫度，按下加熱啟停鍵對坩堝進行加熱。

二、蒸發(fā)完畢后，對被鍍工件進行一段時間的真空狀態(tài)儲存。然后操作真空度。打開放氣閥對蒸發(fā)室放氣，待放氣閥完畢后，及時關閉放氣閥。打開蒸發(fā)室門，取下工件。

三、取出工件后，應迅速做好下一周期的準備工作。關上蒸發(fā)室門，擰緊門框。重復抽真空。蒸發(fā)室暴露大氣的時間不應超過15min。

四、關總電源、水源、氣源。

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